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カメラ

イメージセンサ

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赤外線センサ

外乱光の影響

光電センサ

CO2センサ

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)

  • 大面積のシリコン基板の上に、半導体製造プロセス、例えばフォトリソグラフィ、酸化、成膜、電極成型、更に空洞部の深堀りエッチング等を用いて、一体形成を行い製造する

製造方法による分類

表面マイクロマシニング

バルクマイクロマシニング

機能による分類

物理MEMSセンサ

  • 圧力センサ
  • 加速度・角速度センサ
  • 方位センサ
  • 力覚センサ

RF-MEMS

  • マイクロ共振子
  • タイミングデバイス
  • MEMSスイッチ

化学MEMSセンサ

  • 温度センサ
  • ガスセンサ
  • pHセンサ

バイオMEMSセンサ

  • マイクロ流路化学分析
  • マイクロチップ

駆動電力

エナジーハーベスティング

  • 振動・温度差・室内光・電波などの周辺環境から微弱なエネルギーを集めて発電し、それを電源として利用すること
  • 得られる電力は数十μWから数mW程度であるため、IoTデバイス全体を安定的に動作させることは難しく、主にセンサモジュールを駆動させるために利用されている

デバイスの種類

  • 光発電
  • 熱発電
  • 振動発電
  • 電波発電

トラブルシューティング


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Last-modified: 2022-06-09 (木) 13:57:54 (62d)