IoT/ センサのバックアップ(No.2) - PukiWiki

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IoT/ センサは削除されています。
- 1 (2021-06-19 (土) 11:55:42)
- 2 (2021-06-19 (土) 13:19:11)
- 3 (2021-07-04 (日) 20:54:07)

IoTにおけるセンサーの選び方

CO2センサ †

高精度CO2センサ温湿度センサ付き eAir

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) †

大面積のシリコン基板の上に、半導体製造プロセス、例えばフォトリソグラフィ、酸化、成膜、電極成型、更に空洞部の深堀りエッチング等を用いて、一体形成を行い製造する

製造方法による分類 †

表面マイクロマシニング †

バルクマイクロマシニング †

機能による分類 †

物理MEMSセンサ †

圧力センサ
加速度・角速度センサ
方位センサ
力覚センサ

RF-MEMS †

マイクロ共振子
タイミングデバイス
MEMSスイッチ

化学MEMSセンサ †

温度センサ
ガスセンサ
pHセンサ

バイオMEMSセンサ †

マイクロ流路化学分析
マイクロチップ

駆動電力 †

エナジーハーベスティング †

振動・温度差・室内光・電波などの周辺環境から微弱なエネルギーを集めて発電し、それを電源として利用すること
得られる電力は数十μWから数mW程度であるため、IoTデバイス全体を安定的に動作させることは難しく、主にセンサモジュールを駆動させるために利用されている

デバイスの種類 †

光発電
熱発電
振動発電
電波発電