MEMS のバックアップソース(No.1)

バックアップ一覧
差分を表示
現在との差分を表示
バックアップを表示
MEMS へ行く。
- 1 (2019-11-21 (木) 19:14:48)

#author("2019-11-21T10:14:48+00:00","default:admin","admin")
-MEMS（メムス、Micro Electro Mechanical Systems）は、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に微細加工技術によって集積化したデバイスを指す。