#author("2021-06-19T04:19:11+00:00","default:admin","admin")
-[[IoTにおけるセンサーの選び方:https://iotnews.jp/archives/170892]]
#author("2021-07-04T11:54:07+00:00","default:admin","admin")

*CO2センサ [#n8103b9c]
-[[高精度CO2センサ 温湿度センサ付き eAir:https://linkjapan.co.jp/product/eair/]]

*MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) [#q5fdb95f]
-大面積のシリコン基板の上に、半導体製造プロセス、例えばフォトリソグラフィ、酸化、成膜、電極成型、更に空洞部の深堀りエッチング等を用いて、一体形成を行い製造する

**製造方法による分類 [#pc2c239a]
***表面マイクロマシニング [#fc27686d]
***バルクマイクロマシニング [#q2d9e353]

**機能による分類 [#h025ad75]
***物理MEMSセンサ [#t3309e78]
-圧力センサ
-加速度・角速度センサ
-方位センサ
-力覚センサ
***RF-MEMS [#r41c37ad]
-マイクロ共振子
-タイミングデバイス
-MEMSスイッチ
***化学MEMSセンサ [#fe727c92]
-温度センサ
-ガスセンサ
-pHセンサ
***バイオMEMSセンサ [#bf2b2f38]
-マイクロ流路化学分析
-マイクロチップ

*駆動電力 [#bdf75f76]
**エナジーハーベスティング [#oae37fcc]
-振動・温度差・室内光・電波などの周辺環境から微弱なエネルギーを集めて発電し、それを電源として利用すること
-得られる電力は数十μWから数mW程度であるため、IoTデバイス全体を安定的に動作させることは難しく、主にセンサモジュールを駆動させるために利用されている

***デバイスの種類 [#lfa1fe76]
-光発電
-熱発電
-振動発電
-電波発電
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