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-MEMS（メムス、Micro Electro Mechanical Systems）は、機械要素部品、センサ、アクチュエータ、電子回路を一つのシリコン基板、ガラス基板、有機材料などの上に微細加工技術によって集積化したデバイスを指す。

-[[MEMS読本 産業のマメ：MEMS:http://www.mmc.or.jp/info/cafe/talk/ibeans/index.html]]
-[[MEMSとは:https://www.jel-robot.co.jp/term/term005.html]]
-[["動く"半導体で、様々な機器の小型・軽量・高性能化を実現:https://www.nedo.go.jp/hyoukabu/articles/201316omron/index.html]]

-[[MEMS 製品情報紹介 次世代の産業を創出する MEMSデバイス:http://www.pmtc.co.jp/ja/recruit/products_tech/mems/]]
-[[小型センサーをより小さく安く、MEMS新技術の提案が続々:https://tech.nikkeibp.co.jp/atcl/nxt/mag/ne/18/00007/00061/]]

-[[MEMS市場世界ランキングトップ30社を発表、Yole:https://eetimes.jp/ee/articles/1906/13/news026.html]]

-[[MEMS／センサーの生産能力、2023年に月470万枚:https://eetimes.jp/ee/articles/1911/06/news026.html]]