CO2センサ

MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)

製造方法による分類

表面マイクロマシニング

バルクマイクロマシニング

機能による分類

物理MEMSセンサ

RF-MEMS

化学MEMSセンサ

バイオMEMSセンサ

駆動電力

エナジーハーベスティング

デバイスの種類


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