コンサルティング †
CO2センサ †
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) †
- 大面積のシリコン基板の上に、半導体製造プロセス、例えばフォトリソグラフィ、酸化、成膜、電極成型、更に空洞部の深堀りエッチング等を用いて、一体形成を行い製造する
製造方法による分類 †
表面マイクロマシニング †
バルクマイクロマシニング †
機能による分類 †
物理MEMSセンサ †
- 圧力センサ
- 加速度・角速度センサ
- 方位センサ
- 力覚センサ
RF-MEMS †
- マイクロ共振子
- タイミングデバイス
- MEMSスイッチ
化学MEMSセンサ †
バイオMEMSセンサ †
駆動電力 †
エナジーハーベスティング †
- 振動・温度差・室内光・電波などの周辺環境から微弱なエネルギーを集めて発電し、それを電源として利用すること
- 得られる電力は数十μWから数mW程度であるため、IoTデバイス全体を安定的に動作させることは難しく、主にセンサモジュールを駆動させるために利用されている
デバイスの種類 †
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